DLC の作り方

それでは、DLCの作り方について、説明します。
DLCの生成には炭素の供給源で大別して、大きく2種類に
分かれます。
ひとつはグラファイト（黒鉛）そのものを用いる方法です。
もうひとつは、水素系のガスを用いる方法です。
前者は主に、PVD（物理的気相蒸着法）で行われ、
後者は主に、CVD（化学的気相蒸着法）でおこないますが
一部でPVD法に含まれる方法が使われる。

つまりDLCはCVD法、PVD法のどちらでも蒸着が可能で、
様々な方法が開発されている。

CVD法においては、特に単純な理解では、ガスの科学反応
を利用して、目的の膜を、対象物の表面に蒸着させる方法で
あると理解しましょう。
ところが、DLCにおいては
１．プラズマ
２．パルス式プラズマ

PVDについては、
１．アーク
２．マグネトロンスパッタリング
３．イオンビームスパッタリング
の３つは、グラファイトそのものをターゲット材として使用します。

そしてもうひとつ、熱電子衝撃によるイオン化蒸着が挙げられます。
これら６つの方法を勉強していくと、当然、すこし元に戻らなくては
ならなくなります。仕方ありません。私もよくわかっていないので
戻りますよ。